sem和tem的区别

sem和tem的区别如下：

1、结构差异

二者之间结构差异主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。透射电镜（TEM）的样品在电子束中间，电子源在样品上方发射电子，经过聚光镜，然后穿透样品后，有后续的电磁透镜继续放大电子光束，最后投影在荧光屏幕上。

扫描电镜（SEM）的样品在电子束末端，电子源在样品上方发射的电子束，经过几级电磁透镜缩小，到达样品。当然后续的信号探测处理系统的结构也会不同，但从基本物理原理上讲没什么实质性差别。

2、基本工作原理

透射电镜:电子束在穿过样品时，会和样品中的原子发生散射，样品上某一点同时穿过的电子方向是不同，这样品上的这一点在物镜1-2倍焦距之间，这些电子通过过物镜放大后重新汇聚，形成该点一个放大的实像，这个和凸透镜成像原理相同。

扫描电镜：电子束到达样品，激发样品中的二次电子，二次电子被探测器接收，通过信号处理并调制显示器上一个像素发光，由于电子束斑直径是纳米级别，而显示器的像素是100微米以上，这个100微米以上像素所发出的光，就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。实现样品上这个物点的放大。

透射电镜和扫描电镜二者成像原理上根本不同。透射电镜成像轰击在荧光屏上的电子是那些穿过样品的电子束中的电子，而扫描电镜成像的二次电子信号脉冲只作为传统CTR显示器上调制CRT三极电子枪栅极的信号而已。透射电镜我们可以说是看到了电子光成像，而扫描电镜根本无法用电子光路成像来想象。

3、样品制备要求

TEM测试对样品有以下几点要求

粉末、液体样品均可，固体样品太大了的需要离子减薄、双喷、FIB、切片制样；样品必须很薄，使电子束能够穿透，一般厚度为100~200nm左右；样品需置于直径为2~3mm的铜制载网上，网上附有支持膜；样品应有足够的强度和稳定性，在电子线照射下不至于损坏或发生变化；样品及其周围应非常清洁，以免污染。

SEM测试对样品有以下几点要求

粉末样＞0.02g；块状样和生物样，直径小于26mm，高度小于15mm；样品中不得含有水分；导电性差及磁性样品为保证拍摄效果，建议喷金。